Contamination surfacique

Qu’est-ce que la contamination surfacique ?

« Présence, à la surface d’un produit ou d’un instrument d’analyse, à l’état adsorbé, d’espèces moléculaires [chimiques, non particulaires] susceptibles d’avoir un effet indésirable sur le produit, le procédé ou l’équipement dans la salle propre ou l’environnement maîtrisé. »

(Selon la Commission Afnor X44B : « Technologies des salles propres », les normes ISO 14644-8 : « Salles propres et environnements maîtrisés apparentés » - Partie 8 : « Classification de la contamination moléculaire aéroportée » et ISO 14644-9 : « Salles propres et environnements maîtrisés » - Partie 9 : Classification de la propreté particulaire des surfaces »)

La contamination surfacique sur procédé est au cœur du savoir-faire de TERA Environnement :

Les polluants chimiques présents dans vos environnements maîtrisés sont transportés par les flux d’air et adsorbés ou déposés à la surface de procédés sensibles (tranches de silicium, wafers, lentilles, miroirs). Leur présence impacte d’abord les différentes étapes de fabrication, mais aussi le rendement opérationnel final. Nos analystes procèdent au dégazage thermique des échantillons ou à leur traitement chimique à l’aide de systèmes de pré-traitement avant analyse.

Techniques d’extraction

  • Extraction thermique
  • Extraction chimique
  • Ecouvillonnage
  • Lixiviation
  • Extraction solide-liquide
  • Attaque chimique

Familles de polluants cibles

  • Acides
  • Bases
  • Organiques
  • Condensables
  • Métaux
  • Dopants

+ d’infos sur les polluants chimiques

Méthodes d’analyse

  • Chromatographie ionique
  • Désorption thermique
  • Spectrométrie

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